연삭 디스크 연삭 디스크 에 탄화 규소의 적용 . 그라인딩 디스크는 반도체 산업에서 VLSI용 실리콘 웨이퍼 생산을 위한 중요한 공정 장비입니다. 탄화규소 세라믹으로 만든 연삭 디스크는 연삭 디스크 의 높은 경도와 실리콘 웨이퍼의 낮은 마모 및 열팽창 계수로 인해 고속으로 연삭 및 연마할 수 있습니다. 특히 최근 몇 년 동안, 실리콘 웨이퍼의 크기가 점점 더

녹색 탄화 규소 분말은 강옥보다 경도와 기계적 강도가 높습니다. 녹색 탄화 규소 분말은 녹색이며 결정 구조, 높은 경도, 강한 절단 능력, 안정적인 화학적 특성 및 우수한 열전도율을 제공합니다. 미세한 모양은 육각형 결정입니다. 탄화규소의 모스 경도는 9.2이고 비커스 마이크로 경도는 3000-3300 kg/mm입니다. Knoop 경도는 2670-2815kg/mm이고 마이크로 경도는 3300kg/mm3입니다.  

탄화규소의 구조 순수 탄화규소무색 투명한 결정이다. 산업용 탄화규소는 불순물의 종류와 함량으로 인해 연한 노란색, 녹색, 파란색 또는 검은색이며 투명도는 순도에 따라 다릅니다. 탄화 규소의 결정 구조는 육방정계 또는 능면체 α-SiC와 입방 β-SiC(입방 탄화 규소라고 함)으로 나뉩니다. α-SiC는 결정 구조에서 탄소와 규소 원자의 적층 순서가 다르기 때문에 다양한 변이체를 형성하며 70종 이상이 발견되었습니다. β-SiC는 2100°C 이상에서