
반도체 산업에서의 β-탄화규소(β-SiC) 응용 분야
반도체 산업에서의 β-탄화규소(β-SiC) 응용 분야 β-SiC(3C-SiC라고도 함)는 입방정계 아연섬광 결정 구조를 가지는 준안정상입니다. 전력 소자 분야에서 상업적으로 주로 사용되는 4H-SiC(α상 육방정계) 와는 차이가 있습니다. β-SiC는 약 2.36 eV의 밴드갭, 높은 전자 이동도, 실리콘 웨이퍼 상의 이종 에피택시를 지원하는 특성, 우수한 고온 저항성, 플라즈마 에칭 저항성 및 방사선 내성을 제공합니다. 대규모 제조에 있어 비용 효율성이 뛰어나지만,

