연삭 디스크에 탄화 규소 적용

연삭 디스크
연삭 디스크 에 탄화 규소의 적용 . 그라인딩 디스크는 반도체 산업에서 VLSI용 실리콘 웨이퍼 생산을 위한 중요한 공정 장비입니다. 탄화규소 세라믹으로 만든 연삭 디스크는 연삭 디스크 의 높은 경도와 실리콘 웨이퍼의 낮은 마모 및 열팽창 계수로 인해 고속으로 연삭 및 연마할 수 있습니다. 특히 최근 몇 년 동안, 실리콘 웨이퍼의 크기가 점점 더 커지고 있으며, 이는 실리콘 웨이퍼 연삭의 품질과 효율성에 대한 요구 사항이 높아지고 있습니다. 탄화규소 세라믹 연삭 디스크를 사용하면 실리콘 웨이퍼 연삭의 품질과 효율성이 크게 향상됩니다.